Effect of Back-Etching on Electrical Properties of PZT Thin Films

発表者名

T.Ohno, T.Matsuda, M. Kosec, N. Wakiya and H.Suzuki

学会種類

国際学会

学会名

The 16th International Symposium on the Applications of Ferroelectrics（ISAF2007)

開催都市

Nara, Japan

開催年月日

2007年05月27日 〜 2007年05月31日

講演種類

一般講演