Effect of Back-etching on Electrical Properties of (001)&(100) oriented PZT(30/70) thin films

発表者名

T.Ohno, T.Matsuda, B. Malic, M. Kose, Y. Hoshi, N. Wakiya and H. Suzuki

学会種類

国際学会

学会名

11 th European Meeting on Ferroelectricity

開催都市

Bled, Slovenia

開催年月日

2007年09月03日 〜 2007年09月07日

講演種類

一般講演