CSD法PZT薄膜の特性に及ぼす基板の厚さの影響

発表者名

松林洋平、鈴木久男、脇谷尚樹、坂元尚紀、大野智也、篠崎和夫

学会種類

国内学会

学会名

第21回セラミックス協会秋季シンポジウム

開催都市

北九州(優秀賞受賞)

開催年月日

2008年09月17日 〜 2008年09月19日

講演種類

一般講演