電極構造の設計による強誘電体薄膜の残留応力制御

発表者名

大野智也、松田剛、坂元尚紀、脇谷尚樹、鈴木久男

学会種類

国内学会

学会名

平成22年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会

開催都市

仙台

開催年月日

2010年10月28日 〜 2010年10月29日

講演種類

一般講演