Effect of the residual stress on the morphotropic phase boundary shift in lead zirconate titanate thin film on a Si wafer

発表者名

T. Ohno, H. Yanagida, N. Sakamoto, N. Wakiya, H. Suzuki, S. Satoh, K. Wagatsuma and T. Matsuda

学会種類

国際学会

学会名

Materials Science & Technology 2013

開催都市

Montreal, Canada

開催年月日

2013年10月27日 〜 2013年10月31日

講演種類

一般講演