Effect of the Residual Stress on the Phase Transition of the Alkoxide derived Piezoelectric Thin Film on a Si substrate

発表者名

T. Ohno, S. Hirai, T. Matsuda, N. Sakamoto, N. Wakiya and H. Suzuki

学会種類

国際学会

学会名

The 34th International Japan – Korea Semiar on Ceramics

開催都市

Hamamatsu

開催年月日

2017年11月22日 〜 2017年11月25日

講演種類

一般講演