Microstructure Control of Silica Thin Film by Spin Coating Method

著者名

T. Ohno, H.Suzuki, J.Takahashi, S.Shimada, T.Ota, M.Takahashi and Y.Hikichi

論文題目

Microstructure Control of Silica Thin Film by Spin Coating Method

雑誌名

Key Eng. Mater.

雑誌 巻・号・項

206-213 pp.2185-2188

発行年

2002