Stress Engineering for Piezoelectric Thin Film on a Si Wafer

著者名

T. Ohno

論文題目

Stress Engineering for Piezoelectric Thin Film on a Si Wafer

雑誌名

The 17th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium (2015 Nov. 17-18)

雑誌 巻・号・項

pp.43-46

発行年

2015