ラマン分光法及びXRD分析による強誘電体薄膜の残留応力評価

発表者名

大野智也、松田剛、Babara Malic、Marija Kosec、深澤宏彰、脇谷尚樹、鈴木久男

学会種類

国内学会

学会名

第25回強誘電体応用会議(FMA-25)

開催都市

京都

開催年月日

2008年05月28日 〜 2008年05月31日

講演種類

一般講演