Si基板上の強誘電体薄膜の結晶歪制御技術の開発

発表者名

大野智也

学会種類

国内学会

学会名

東北大学　金研ワークショップ

開催都市

仙台

開催年月日

2011年12月12日 〜 2011年12月13日

講演種類

一般講演