結晶歪み制御技術によるPZT薄膜の強誘電特性向上

発表者名

大野智也、松田剛、石塚正明、坂元尚紀、脇谷尚樹、鈴木久男

学会種類

国内学会

学会名

第29回強誘電体応用会議

開催都市

京都

開催年月日

2012年05月23日 〜 2012年05月26日

講演種類

一般講演