Effect of Back-Etching on the Residuals Stress in (111) and (001)&(100) oriented PZT(30_70) film

発表者名

T. Ohno, B. Malic, M. Kosec, N. Wakiya, H. Suzuki, T. Matsuda

学会種類

国際学会

学会名

The IUMRS International Conference in Asia

開催都市

Nagoya, Japan(Young Researcher award)

開催年月日

2008年12月09日 〜 2008年12月13日

講演種類

一般講演