Effect of the buffer layer structure on the residual stress in ferroelectric thin film

発表者名

T. Ohno, N. Wakiya, H. Suzuki, B. Malic, M. Kosec, T. Matsuda

学会種類

国際学会

学会名

日本セラミックス協会　第47回基礎科学討論会 (国際シンポジウム)

開催都市

大阪

開催年月日

2009年01月08日 〜 2009年01月09日

講演種類

一般講演