(Invited) Stress Engineering for Piezoelectric Thin Film on a Si wafer

発表者名

T. Ohno

学会種類

国際学会

学会名

17th Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium

開催都市

Hamamatsu, Japan

開催年月日

2015年11月17日 〜 2015年11月18日

講演種類

招待講演