液相法によるSi基板上での無歪PZT薄膜の作製
学会名:日本セラミックス協会 第29回秋季シンポジウム
発表者名: 本田隆真、福光健太郎、平井慈人、松田剛、坂元尚紀、脇谷尚樹、鈴木久男、大野智也
開催年月日:2016年09月07日 〜 2016年09月09日