ラマン分光法及びXRD分析による強誘電体薄膜の残留応力評価
学会名:第25回強誘電体応用会議(FMA-25)
発表者名: 大野智也、松田剛、Babara Malic、Marija Kosec、深澤宏彰、脇谷尚樹、鈴木久男
開催年月日:2008年05月28日 〜 2008年05月31日