Preparation of Strain-free Piezoelectric Thin Film on a Si wafer

発表者名

T. Ohno, S. Hirai, T. Matsuda, N. Sakamoto, N. Wakiya and H. Suzuki

学会種類

国際学会

学会名

Electroceramics 15

開催都市

Limoges, France

開催年月日

2016年06月27日 〜 2016年06月29日

講演種類

一般講演