Effect of Back-Etching on the Residuals Stress in (111) and (001)&(100) oriented PZT(30_70) film
学会名:The IUMRS International Conference in Asia
発表者名: T. Ohno, B. Malic, M. Kosec, N. Wakiya, H. Suzuki, T. Matsuda
開催年月日:2008年12月09日 〜 2008年12月13日