Effect of the Residual Stress on the Phase Transition of the Alkoxide derived Piezoelectric Thin Film on a Si substrate
学会名: The 34th International Japan – Korea Semiar on Ceramics
発表者名: T. Ohno, S. Hirai, T. Matsuda, N. Sakamoto, N. Wakiya and H. Suzuki
開催年月日:2017年11月22日 〜 2017年11月25日