電極構造の設計による強誘電体薄膜の残留応力制御
学会名:平成22年度日本セラミックス協会東北北海道支部研究発表会
発表者名: 大野智也、松田剛、坂元尚紀、脇谷尚樹、鈴木久男
開催年月日:2010年10月28日 〜 2010年10月29日