Effect of Back-etching on Electrical Properties of (001)&(100) oriented PZT(30/70) thin films
学会名:11 th European Meeting on Ferroelectricity
発表者名: T.Ohno, T.Matsuda, B. Malic, M. Kose, Y. Hoshi, N. Wakiya and H. Suzuki
開催年月日:2007年09月03日 〜 2007年09月07日