Effect of Back-Etching on Electrical Properties of PZT Thin Films
学会名:The 16th International Symposium on the Applications of Ferroelectrics(ISAF2007)
発表者名: T.Ohno, T.Matsuda, M. Kosec, N. Wakiya and H.Suzuki
開催年月日:2007年05月27日 〜 2007年05月31日