実験装置

RFマグネトロンスパッタ装置

スパッタ装置

酸化物・窒化物膜の作製はもちろん、低温且つ水蒸気雰囲気中でも成膜できるので、水酸化物膜の作製もできます。本装置を用いて新規なエレクトロクロミック材料を開発しています。研究室にはこの他に、４機のスパッタ装置があります。

真空蒸着装置

真空蒸着装置

金属用、有機物用等、計４機の真空蒸着装置を使用しています。極薄金属膜の作製や、有機ＥＬ素子、積層型新規透明導電膜の開発を行っています。

フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR）

FT/IR-6100(JASCO)

膜中の水分子等を定量分析しています。窒素雰囲気下の測定を行うことにより、大気中の水蒸気の影響を抑制することができます。この他にも可視・紫外分光光度計、反射率測定装置、エリプソメータ、可視近赤外分光光度計、輝度計等、光学特性の評価機器を所有しています。

原子間力顕微鏡（AFM）

原子間力顕微鏡
AFM5100N(HITACHI)

各種薄膜の表面形態を観察するために、ほぼ全ての研究テーマで使用しています。

ピコ秒時間分解PL測定装置

2019年度より北見工大へ移設し使用を開始しました。発光材料からの発光の時間変化を、ピコ秒(1兆分の1秒)～ナノ秒(10億分の1秒)程度の時間領域で測定することが出来、材料中のエネルギーや電子の動きをリアルタイムで観測することが出来ます。 光源は100フェムト程度の時間幅を持つチタンサファイアレーザーを用いており、例えると10兆分の1秒の間だけ光るカメラのフラッシュを焚いて材料を光らせた上で、ストリークカメラと分光器の組み合わせを用いて、時間分解・波長分解し検出します。

フェムト秒チタンサファイアレーザー
Tsunami(Spectra-Physics)
ピコ秒分解ストリークカメラ
C4334(浜松ホトニクス)

　

有機EL特性評価装置

有機EL素子の性能を評価する上で必須となる、電流-電圧-輝度特性の測定を、色彩輝度計と直流電源の組み合わせで行っています。色彩輝度計により発光の色座標についても評価が出来ます。またELスペクトルについては光ファイバーによりサンプリングし、モジュラー小型分光器を利用して測定しています。

色彩輝度計
CS-200(コニカミノルタ)
直流安定化電源
E3631A(Hewlett Packard)

　

この他にも接触角測定装置、四探針法測定装置、段差計、電気化学測定装置、グローブボックス、太陽電池評価システム等を所有しています。

機器分析センター

その他、必要に応じて同じ建物内にある機器分析センターの下記装置類も利用して研究を行っています。