ＲＦマグネトロンスパッタ装置
酸化物・窒化物膜の作製はもちろん、低温且つ水蒸気雰囲気中でも成膜できるので、水酸化物膜の作製もできます。本装置を用いて新規なエレクトロクロミック材料を開発しています。研究室にはこの他に、４機のスパッタ装置があります。
真空蒸着装置
金属用、有機物用等、計４機の真空蒸着装置を使用しています。極薄金属膜の作製や、有機ＥＬ素子、積層型新規透明導電膜の開発を行っています。
ＦＴ－ＩＲ
膜中の水分子等を定量分析しています。窒素雰囲気下の測定を行うことにより、大気中の水蒸気の影響を抑制することができます。この他にも可視・紫外分光光度計、反射率測定装置、エリプソメータ、可視近赤外分光光度計、輝度計等、光学特性の評価機器を所有しています。
原子間力顕微鏡・その他
各種薄膜の表面形態を観察するために、ほぼ全ての研究テーマで使用しています。
この他にも接触角測定装置、四探針法測定装置、段差計、電気化学測定装置、グローブボックス、太陽電池評価システム等を所有しています。